真空高压气氛烧结炉真空系统、充放气系统及冷却水系统
真空系统为扩散泵、罗茨泵、旋片泵组成三级真空机组。由泵、气动高压球阀、电磁带充气阀、波纹管、管路等整体组成机组。各阀门的开启及系统的操作均可实现自动化。
为了提高自动化程度，真空管路上常操作的阀门均采用气动真空阀；
所有真空管道内表面均进行酸洗镀锌处理，减少材料放气率，提高系统真空性能；
本高压气氛烧结炉配置有氮气\氩气充入装置；
可实现两种气压烧结，一种定压烧结，当炉内达到稳定状态时，由压力传感器控制进气阀与放气阀，当达到设定压力下限时，关闭进气阀，当达到设定压力上限时，打开放气阀；另一种动态平衡，即进气阀始终处于打开状态，定量冲入气体，排气阀由压力传感器控制开关，保证炉内压力恒定；同时配置有安全防爆阀，当过压时，可自动泄压，确保系统运行安全。
进气口留有质量流量计接口，用户可根据工艺条件自行配备及安装。
三、真空气氛炉冷却水系统
根据真空炉各部分对冷却水的要求，制作积水排、由阀门、管路等组成；对炉体、炉盖、密封圈、真空泵及水冷电极进行冷却；其中总进水管路安装水压传感器；
冷却水汇流水箱所有冷却水阀门均采用艾美柯品牌，汇流水箱上有一套备用进出水管（带有进水阀门）。
四、真空高压气氛烧结炉测控系统
测控系统采用了高性能的控制测量仪表，如温度控制采用了日本生产的高性能的0.3级可编程PID调节器，即FP93温控仪表,它功能完善,性能优良,可带4组曲线最大40段可编程功能；同时采用复合真空计、气压仪表分别对真空度、气压进行监测；通过触摸屏、PLC来集中对这些仪表进行控制，最终实现对温度、真空度、气压等参数的监控及加热、真空泵等机械电气设备动作的控制。这些仪表及其他控制元器件，集中安装于电控柜中。